真空泵声音很大---[求助]

我公司等离子刻蚀机上用的＂莱宝＂真空泵最近泵的声音很大，震动不是特别大．新换泵油也不行，怎么解决？

1、你说的真空泵如果是旋片式机械真空泵，它的上部有一个滚花的旋钮，你把它拧紧试试。这个旋钮叫做镇气阀，在夏天空气特别潮湿时，真空度抽不上去，是因为真空室中的水蒸气排不出去，这时打开镇气阀，有意让部分空气进入真空泵再排出，通过它的吸附作用，把水气带出去，由于在真空系统中引入了空气，机械泵在排出时由于气体较多，气体冲击真空泵油产生很大声音。
2、如果你换的不是机械泵专用机油，而是汽车发动机机油，也会发出声响。

＂莱宝＂选片式真空泵应定期保养：更换油过滤器及专用油。

现在用的是＂莱宝＂专用泵油，每５天就换一次，旧油非常的黑，（镇气阀也拧过，不管用）　不知为什么？

楼主，供参考
根据我们的经验,如果真空泵进口端直接抽大气的话,泵会有上述你描述的情况，很容量损坏泵.

再次提醒楼主更换油过滤器；
拆卸真空泵，检查旋片是否卡滞或开裂。

你可以把进气口封住，开动真空泵，如果还有很大的声响，就是泵的问题了。