+发表新主题
侠之生 发布于2006-6-6 11:02 17 次浏览 3 位用户参与讨论
跳转到指定楼层
微机电。
回复

使用道具 举报

已有3人评论

pd_bq 发表于 2006-6-6 11:05:16
MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。对 微电子机械系统(MEMS)的研究主要包括理论基础研究、制造工艺研究及应用研究三类。理论研究主要是研究微尺寸效应、微磨擦、微构件的机械效应以及微机械、微传感器、微执行器等的设计原理和控制研究等;制造工艺研究包括微材料性能、微加工工艺技术、微器件的集成和装配以及微测量技术等;应用研究主要是将所研究的成果,如微型电机、微型阀、微型传感器以及各种专用微型机械投入实用。
回复

使用道具 举报

侠之生 发表于 2006-6-6 13:53:26
中国现在的情况发展怎样啊?
回复

使用道具 举报

xiyangrenyu 发表于 2006-6-15 11:09:48
牛, 就是不知发展水平咱样?
回复

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

QQ| Archiver|手机版|小黑屋| 碧波制图网 Stonespider

Copyright © 2021-2023 Kangli Wu   All Rights Reserved.

Powered by Discuz! X3.5( 苏ICP备18011607号-1 )

快速
回复
返回
列表
返回
顶部