行星传动齿圈的材料工艺？？

一般情况下，行星齿轮减速机的内齿圈，都采用什么材料？
对应采取什么样的热处理工艺？？谢谢.....

内齿圈淬火时变形较大，一般采用低碳钢，我公司曾采用过20CrH，效果不太好，先进的热处理方法采用真空渗碳，但真空炉价格太高，国内较少。

我看国外的20CrMoMn作氮化处理的，不知道怎么样呢？另外，不同尺寸的，比如外径比较大时，用什么材料比较好？