MEMS技术及其应用

书    名：MEMS技术及其应用
作    者：李德胜、王东红编著
出 版 社：哈尔滨工业大学出版社
I  S  B  N：756031694
出版日期：2002-3-1
印    次：第一次
内容提要：
    本书共有八章，在概述微机电技术的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。作为MEMS应用，分别介绍了数种典型的物理量传感器和化学量传感器的工作原理及制造工艺，对各类微操作器、微机械零件及电系统也做了比较详细的论述，最后开辟一章介绍了生物芯片相关技术。
　　本书可作为微电子、机电一体化、精密仪器及仪器仪表等专业高年级的教学参考书，也可供其他专业师生及有关工程技术人员参考。
目    录：
第一章　绪论
　1.1　MEMS的定义
　1.2　国内外研究概况及展望
　1.3　纳米技术及展望
第二章　MEMS基础理论
　2.1　尺寸效应
　2.2　微机械常用材料
　2.3　微构造的机械特征
　2.4　微构造的振动特征
　2.5　微构造的热特征
　2.6　摩擦磨耗的减小办法
　2.7　微流路中液体的流动
　2.8　微机械的驱动原理
　2.9　超小型机械实现的障碍及对策
第三章　微机械制造技术
　3.1　概述
　3.2　体加工工艺
　3.3　硅表面微机械加工技术
　3.4　结合加工
　3.5　逐次加工
　3.6　LIGA技术
　3.7　微机械加工技术中的微电子工艺和设备
　3.8　本章小结
第四章　MEMS CAD辅助分析设计
　4.1　ANSYS的主要技术特点
　4.2　ANSYS使用上几个应注意的问题
　4.3　ANSYS的分析步骤
　4.4　微型电磁继电器受力及磁场分布的ANSYS模拟
　4.5　仿真分析一些经验
　4.6　本章小结
第五章　微传感器
　5.1　传感器的基本物理效应
　5.2　压阻效应与半导体应变传感器
　5.3　电容式三维加速度计
　5.4　振动式微陀螺仪
　5.5　微型热式温度传感器
　5.6　微型光栅读码器
　5.7　微型磁通门
第六章　微操作器
　6.1　静电型微操作器
　6.2　电磁型微操作器
　6.3　热膨胀型微操作器
　6.4　压电型微操作器
　6.5　微机械零件
第七章　微机电系统　
第八章　生物芯片
参考文献

看来，没人对MEMS感兴趣啊，哈哈！

多谢楼主, 我学到很多知识l  !!!!

MEMS是什么?

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是一本很好的微机械方面的书。

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d最近就在搞这个脑袋都打了。。支持！

现在国内有mems的生产线吗？