电子束加工( Electro Beam Machining, 简称EBM )

利用电子束来加工，除了焊接之外，还有钻孔及表面处理等，无论那一种都是属于利用高电功来加速电子束的热加工。其中，钻孔加工为将高能量密度的电子束照射在材料上，利用当时所产生的热将材料熔融、蒸发，并加以排除的加工法。这种加工法和其它加工法比，是一种相当优良的高速加工，同时具有高度的控制性及斜孔加工的特徵，可望代替现有的钻孔加工，甚至能发展出更新的用途。
利用电子束  孔，由开始直至钻透为止。如图（六）所示，其中有几个过程存在。同时，电子钻孔法为了获得漂亮的贯穿孔，在工件底下还敷有持定的辅助材料（垫衬）。
l大约10KW/cm的，具有高密度集中能量的电子束照射在工件上开始先将局 部熔解。
l 塞满蒸发物的空洞愈来愈深，并在其周围产生熔融层。
l电子束贯穿工件，一直到达辅助材料处为止。
l 辅助材料于瞬间气化，产生很高的蒸气压，将贯穿孔的蒸发物及熔融层向外部飞散出去以完成钻孔。
为了能正确钻出特定孔径以及深度的孔，通将加速电功设为一定，而调整电子束电流（脉冲电流）以及照射时间。同时，加速度依孔经以及孔深来决定其上限，而孔径、孔深愈增加，加工速度就愈降低。
电子束钻孔的特徵
电子束对材料的侵透力强，并富控制性，具有焦点深度深等特性，同时利用加工操控轴移动的自动控制，工以获得如下的优点：
钻孔非常快（最14000孔／秒）
孔的节距正确，可以获得相当漂亮的孔。
可以钻出斜角度的孔（对工件表面而言，最低可至20度）。
即使是复杂形状的孔也能钻。
几乎所有的材料都能钻孔。