超精密加工( Ultra Precision Machining )

（一）加工原理
超精密加工主要系以超精密切削刀具( Ultra Precision Cutting Tool, UPC )来进行切削加工，通常此类目具系以单晶钻石制成，单晶钻石具有高硬度、优越的热扩散性和被切削材之低亲和性，可做成非常锋利之切刃等优可适用于铝、铜等非铁金属或非金属之超精宓切削。至于单晶钻石之加工方法则有研磨、超声波加工、劈切割( Cleaving)、锯切（Sawing）、胴削（Bruting, Girdling）、放电加工及镭射加工等不同方法。
（二）加工设备
目前所使用的超精密加工，主要分为工件旋转的车床型和目具旋转的铣削型，两者基本上都使用气／液静压轴承、线性滑轨来做为旋转部及直线移动部之结  。并加装镭射干涉或光学尺的测长器，再配合精密控制器及滚珠导螺杆或线性马达等驱动系统，才可成为高精度加工之超精密切削加工机。当然，此类机器要达到其加工精度，必须在防振及温度控制等方面特别加强。